清华大学等离子体刻蚀机采购项目公开招标，预算 165 万元

品玩3月29日讯，今日，清华大学发布了等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告。

该公告显示，清华大学现对等离子体刻蚀机采购项目进行国内公开招标，欲采购 1 套等离子体刻蚀机，采购预算为 165 万元。

设备用途介绍 ：

该等离子体刻蚀机用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆，从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。

简要技术指标 ：

真空系统：分子泵抽速≥1300L / s，干泵抽速≥100m3 / h；

下电极：满足 8 英寸样品刻蚀需要，更小样品或碎片可贴片装载；

软件和控制系统：自主版权的软件，Windows 操作系统软件；

机台工艺能力：主要用于刻蚀薄膜铌酸锂材料、介质材料等。

关键词： 科学技术